Two people on stage

Tyhjiökompressori kapseloidulla moottorilla

Kiertomäntäkompressori

Kiertomäntäkompressorit teollisuuden suurtyhjiötekniikkaan.

AERZENin laippamoottorilla varustetut kompressorit on suunniteltu neutraalien (versio HM) ja aggressiivisten (versio CM) kaasujen siirtoon, ja niitä käytetään teollisuuden suurtyhjiötekniikassa. Rakennesarjalle ovat ominaisia vakuuttavat hyötysuhteet ja suuri luotettavuus.

Versio CM aggressiivisille kaasuille:

AERZENin CM-rakennesarjan kompressorit kattavat 14 rakennekoollaan teoreettiset nimellistilavuusvirrat alueella 110 m³/h – 15'340 m³/h tyhjiöalueelle 10^-5 mbar abs. saakka. Huomattavat edut:

  • ATEX-sertifiointi tilaluokalle 0 (sisäinen)
  • Mahdollisuus valita optimaalinen ratkaisu neljästä moottorivaihtoehdosta
  • Suuri mekaaninen kuormitettavuus (150 mbariin saakka), mikä lyhentää tyhjäksipumppausaikoja huomattavasti
  • Vähäinen veden ja typen kulutus
  • Soveltuu käyttöön puhdastilaolosuhteissa
  • Suuri säätöalue taajuusmuuttajalla 1'450 – 7'400 kierrosta minuutissa tai 1'240 – 2'900 kierrosta minuutissa.
  • Virtaus mahdollinen pysty- tai vaakasuunnassa

Versio HM neutraaleille kaasuille:

AERZENin tyypin HM kompressorit kattavat yhdeksällä rakennekoollaan teoreettiset nimellistilavuusvirrat alueella 406 m³/h –15 570 m³/h myös tyhjiöalueelle 10^-5 mbar abs. Huomattavat edut:

  • Mahdollisuus valita optimaalinen ratkaisu neljästä moottorivaihtoehdosta
  • Suuri mekaaninen kuormitettavuus (HM-versiolla 230 mbariin saakka), mikä lyhentää tyhjäksipumppausaikoja huomattavasti
  • Vähäinen veden ja typen kulutus
  • Soveltuu käyttöön puhdastilaolosuhteissa
  • Suuri säätöalue taajuusmuuttajalla käyttämällä luotettavia ja Aerzenin kapseloiduille moottoreille tarkoitettuja parametrisarjoja
  • Virtaus mahdollinen pysty- tai vaakasuunnassa
Rakennetyyppi
Kiertomäntäkompressori
Tilavuusvirta
406 saakka 15.570 m3/h
Puhallettava aine
Ilma , Neutraalit kaasut , toxic
Kuljetus
öljytön
Lopputyhjiö
10^-5 mbar

Miksi korkea Delta P optimoi valmistusprosessit.

AERZENin kapseloidulla moottorilla varustetut kompressorit lyhentävät merkittävästi tyhjäksipumppausaikaa, mikä lisää valmistuksen tuottavuutta. Se on suuri askel prosessin optimoinnissa.

Suunnittelu ja rakenne

AERZENin tyhjiökompressoreille ovat ominaisia O-rengastiivisteet kotelolaipoissa, tyhjiötiiviys ja kompressorilohkon ilmajäähdytys. Voitelutapana on roiskeöljyvoitelu. Voiteluaineena voidaan käyttää mineraaliöljyä tai myös puolijohdetekniikassa yleistä PFPE-öljyä. Kapseloidulla moottorilla varustetuissa kompressoreissa on erityinen suorakulmarengas-labyrinttitiiviste, joka sijaitsee puhallustilan ja laakeritilojen välissä. Lisäksi se sisältää suurikokoisen neutraalin tilan, jossa kulkee lauhdekanavia. Valinnaisesti neutraali tila voidaan täyttää tiivistekaasulla lisätiivistystä varten. Käyttöakseli on tiivistetty integroidulla laippamoottorilla, joten akselin läpivientiä ilmakehän paineeseen ei tarvita. Näin huomattavasti suuremmat kierrosluvut ovat teknisesti mahdollisia.

Neutraaleja vai aggressiivisia kaasuja? Aerzen tarjoaa ratkaisun molemmille – ja lisäksi sopivan kokoluokan.

AERZENin laippamoottorilla varustetut kompressorit on suunniteltu neutraalien (versio HM) ja aggressiivisten (versio CM) kaasujen siirtoon, ja niitä käytetään erityisesti teollisuuden suurtyhjiötekniikassa. Kapseloidulla moottorilla varustetut tyhjiökompressorit toimivat aina yhdessä esipumpun* kanssa. 
Esipumppu käynnistyy ilmakehän paineella, ja kapseloidulla moottorilla varustettu kompressori käynnistetään tavallisesti noin 50–200 mbarin paineessa, jolloin alkaa tyhjäksipumppausprosessi. Esipumppuina käytetään sovelluksen mukaan nesterengaspumppuja, kiertoluistityhjiöpumppuja, ruuvityhjiöpumppuja tai kompressoreita. Kun toimitukseen kuuluvat AERZENin taajuusmuuttajat ja erityiset parametrisarjat, käyttö on mahdollista myös esipumpulla ilmakehän paineesta alkaen.

Sovellukset

  • Puolijohdeteollisuus
  • Mikroelektroniikka
  • Litteiden kuvaruutujen valmistus
  • Laserteknologia
  • Aurinkotekniikka
  • Heliumvuotojen paikannuslaitteet
  • Kemian- ja prosessitekniikka
  • Kelmujen ja lasin päällystys
  • Sulatusuunien rakennus
  • Vedyn poisto

*Käytettäessä AERZENin laippamoottorilla varustettuja tyhjiökompressoreita tarvitaan aina lisäksi esipumppu (monivaihejärjestelmä).

Lisävarusteet ja ratkaisut