Two people on stage

Canned motor blowers

Surpresseurs à pistons rotatifs

AERZEN canned motor vacuum blowers are a type of positive displacement blower that comes with a hermetically (HM) sealed drive ideal for the conveyance of aggressive and neutral gases. These vacuum systems are useful in industrial high vacuum technology due to their high power, reliability, and efficiencies.

These vacuum pumps have O-ring seals at the casing flanges for enhanced vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil, which can be PFPE oil or mineral oil, is supplied by splash lubrication.

Much like our high vacuum blowers, these vacuum pumps are also fitted with a special rectangular ring-labyrinth-seal form between the bearing and conveying chambers as well as a neutral chamber with condensate channels that you can purge with seal gas for enhanced sealing effect. The hermetically sealed drive surface also ensures the perfect sealing of the drive shaft, eliminating the need for a shaft passage to the atmosphere. This makes it possible to achieve higher rotation speeds.

Version CM pour les gaz agressifs :

  • La gamme CM d’AERZEN, avec un total de 14 dimensions, couvre des débits de prise théoriques de 110 m³/h à 15 340 m³/h et des fourchettes de pression de 10^-5 mbar abs. Les avantages en un coup d’œil :
  • Certification ATEX pour la zone 0 (intérieur)
  • Possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
  • Charge mécanique élevée (jusqu’à 150 mbar) et, par conséquent, réduction des temps d’arrêt de la pompe
  • Faible consommation d’eau, d’azote et d’huile
  • Convient à l’application dans des conditions de salle blanche
  • Grande fourchette de contrôle au moyen d’un convertisseur de fréquence de 1'450 à 7'400 rpm et de 1'240 à 2'900 rpm
  • Sens de transport vertical et horizontal possible

Version HM pour les gaz neutres :

  • Avec 9 dimensions de type HM, AERZEN couvre le débit de prise théorique de 406 m³/h à 15 570 m³/h, et jusqu’à un vide de 10^-5 mbar abs. Les avantages en un coup d’œil :
  • Des possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
  • Force mécanique élevée (jusqu’à 230 mbar dans le cas de HM) et par conséquent réduction importante des durées d’arrêt de pompage.
  • Faible consommation d’eau et d’azote
  • Convient pour une application dans des conditions de salle blanche
  • Grande fourchette de contrôle grâce à un convertisseur de fréquences avec des paramètres avérés, réglés pour les surpresseurs à moteur canné d’AERZEN
  • Sens du débit vertical et horizontal possibles
Type de construction
Surpresseurs à pistons rotatifs
Débit
406 à 15.570 m3/h
Fluide à véhiculer
air , gaz neutres , toxic
Transport
exempt d'huile.
Final vacuum
10^-5 mbar

The reason why manufacturing processes are optimised by a high delta p.

AERZEN Vacuum pumps with HM drive significantly reduce pump down time, which leads to an increase of the output ratio in production. This is a big step towards process optimisation.

Design and construction

AERZEN Vacuum pumps with HM drive are provided with O-ring seals at the casing flanges. Further important advantages of the blower stage are vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil is supplied by splash lubrication. Mineral oil can be used as a lubricant, as well as the PFPE oil, generally used in semiconductor technology. This vacuum pumps are equipped with a special rectangular ring-labyrinth-seal between the conveying chamber and the bearing chamber. Additionally, an amply dimensioned neutral chamber with condensate channels is installed. Optionally, the neutral chamber can be purged with seal gas, in order to achieve an increased sealing effect. The hermetically sealed drive ensures the sealing of the drive shaft. A shaft passage to atmosphere can therefore be omitted, making it technically possible to achieve significantly higher rotation speeds.

Gaz neutres ou agressifs ? Aerzen propose des solutions dans les deux cas, avec la dimension appropriée !

Les suppresseurs AERZEN avec transmission cannée sont conçus pour le transport de gaz neutres (version HM) et agressifs (version CM) et sont surtout utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé. Les surpresseurs à moteur canné fonctionnent en association avec une pompe de secours*. 
Cette pompe de secours commence à fonctionner dans l’atmosphère. Le surpresseur à moteur canné est habituellement raccordé à environ 50 à 200 mbar et la procédure de pompage commence. En fonction de l’application, on utilise, des pompes à anneau liquide, des pompes vides à vanne rotative coulissante, des pompes vides à vis ou des surpresseurs comme pompe de secours. Lorsqu’elles sont fournies avec des convertisseurs de fréquence AERZEN et des sets de paramètres spéciaux, des pompes de secours démarrant avec la pression atmosphérique peuvent aussi être utilisées.

Applications

  • Industrie des semi-conducteurs
  • Micro-électronique
  • Production d’écrans plats
  • Technologie laser
  • Technologie solaire
  • Unités de détection de fuites d’hélium
  • Technologie de traitement chimique
  • Revêtement par feuille et verre
  • Fabrication de fours de fusion
  • Évacuation de l’azote

*Une pompe de secours supplémentaire (système en plusieurs étapes) est toujours nécessaire lorsque l’on utilise un surpresseur vide AERZEN avec transmission cannée.

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