Two people on stage

Canned motor blowers

Soffiatore a lobi

AERZEN canned motor vacuum blowers are a type of positive displacement blower that comes with a hermetically (HM) sealed drive ideal for the conveyance of aggressive and neutral gases. These vacuum systems are useful in industrial high vacuum technology due to their high power, reliability, and efficiencies.

These vacuum pumps have O-ring seals at the casing flanges for enhanced vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil, which can be PFPE oil or mineral oil, is supplied by splash lubrication.

Much like our high vacuum blowers, these vacuum pumps are also fitted with a special rectangular ring-labyrinth-seal form between the bearing and conveying chambers as well as a neutral chamber with condensate channels that you can purge with seal gas for enhanced sealing effect. The hermetically sealed drive surface also ensures the perfect sealing of the drive shaft, eliminating the need for a shaft passage to the atmosphere. This makes it possible to achieve higher rotation speeds.

Versione CM per gas aggressivi:

  • La serie AERZEN CM, copre portate nominali da 110 m³/h fino a 15.340 m³/h per un vuoto finale fino a 10^-5 mbar ass. Panoramica dei vantaggi:
  • Certificazione ATEX per la zona 0 (interna)
  • Possibilità di scelta tra 4 diverse varianti di motore
  • Elevato carico meccanico (fino a 150 mbar di P) con conseguente diminuzione dei tempi di svuotamento
  • Piccoli consumi di acqua, azoto e olio
  • Ideale per applicazioni in condizioni di camera bianca
  • Ampio range di regolazione della portata grazie all’inverter, a partire da 1.450 fino a 7.400 giri o da 1.240 a 2.900 giri
  • Direzione di trasporto verticale e orizzontale

Versione HM per i gas neutri:

  • Il modello AERZEN HM è in grado di coprire portate nominali da 406 m³/h a 15.570 m³/h per un vuoto finale fino a 10^-5 mbar ass. Panoramica dei vantaggi:
  • Possibilità di scelta ottimale di 4 diverse varianti di motore
  • L’elevata capacità di carico meccanico (fino a 230 mbar nel caso degli HM) riduce notevolmente i tempi di svuotamento
  • Bassi consumi di acqua e azoto
  • Adatti all'uso in condizioni di camera bianca
  • Ampio range di regolazione della portata grazie all’inverter, con parametri verificati, regolati sui soffiatori canned motor AERZEN
  • Possibilità di direzione del flusso verticale e orizzontale
Tecnologia
Soffiatore a lobi
Portata
406 - 15.570 m3/h
Mezzo aspirato
Aria , gas neutri , toxic
Funzionamento
oil-free
Final vacuum
10^-5 mbar pressione relativa

The reason why manufacturing processes are optimised by a high delta p.

AERZEN Vacuum pumps with HM drive significantly reduce pump down time, which leads to an increase of the output ratio in production. This is a big step towards process optimisation.

Design and construction

AERZEN Vacuum pumps with HM drive are provided with O-ring seals at the casing flanges. Further important advantages of the blower stage are vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil is supplied by splash lubrication. Mineral oil can be used as a lubricant, as well as the PFPE oil, generally used in semiconductor technology. This vacuum pumps are equipped with a special rectangular ring-labyrinth-seal between the conveying chamber and the bearing chamber. Additionally, an amply dimensioned neutral chamber with condensate channels is installed. Optionally, the neutral chamber can be purged with seal gas, in order to achieve an increased sealing effect. The hermetically sealed drive ensures the sealing of the drive shaft. A shaft passage to atmosphere can therefore be omitted, making it technically possible to achieve significantly higher rotation speeds.

Gas neutri o aggressivi? AERZEN offre entrambe le soluzioni nelle grandezze adatte!

I soffiatori AERZEN con canned motor sono progettati per l’aspirazione di gas neutri (versione HM) e aggressivi (versione CM), e vengono utilizzati in particolare nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. I soffiatori canned motor operano sempre in combinazione con una pompa primaria di prevuoto*. 
La pompa primaria di prevuoto inizia ad operare in atmosfera. Il soffiatore canned motorè normalmente innescato a circa 50-200 mbar, momento in cui riesce a sviluppare la piena portata. A seconda dell'applicazione, come pompe di prevuoto vengono utilizzate pompe ad anello liquido, pompe per vuoto a palette ad olio, pompe per vuoto a vite. Se sono provviste di inverter AERZEN e set di parametri speciali, è possibile utilizzare il soffiatore canned motor già a partire dalla pressione atmosferica.

Applicazioni

  • Industria dei semiconduttori
  • Microelettronica
  • Produzione di schermi piatti
  • Tecnologia laser
  • Tecnologia solare
  • Indicatori di perdite di elio
  • Tecnologia chimica e di processo
  • Rivestimento di vetro e lamine
  • Costruzione di forni fusori
  • Evacuazione dell'idrogeno

*In caso di utilizzo di un soffiatore per vuoto AERZEN canned motor, è necessaria una pompa primaria di prevuoto aggiuntiva (sistema multi stadio).

Accessori & soluzioni