密閉式電機鼓風機

適用於腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共有 14 種結構尺寸可選，適用的理論進氣流量範圍是 110 m³/h 到 15,340 m³/h，適用的壓力範圍在 10^-5 mbar 絕對壓力以內。 產品優勢一覽：
• 通過 ATEX 0 區認證（內部）
• 4 種不同電機變體為您提供最佳選擇
• 機械負載較高（高達 150 mbar），因此縮短了泵送時間
• 僅消耗極少水、氮和油
• 適用於無塵室環境應用
• 藉助變頻器實現較大的控制範圍（ 1,450 到 7,400 rpm，或 1,240 到 2,900 rpm）
• 可選擇垂直或水平輸送方向

適用於中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺寸，在 10^-5 mbar 的絕對真空壓力條件下，適用的理論進氣流量範圍為 406 m³/h 到 15,570 m³/h。 產品優勢一覽：
• 4 種不同電機變體為您提供最佳選擇
• 機械強度較高（HM 系列高達 230 mbar），因而大幅縮短泵送時間
• 耗水量、耗氮量低
• 適用於無塵室環境應用
• 藉助變頻器實現較大的控制範圍，各項參數針對 AERZEN 密閉式電機鼓風機進行過調整，卓有成效
• 可選擇垂直或水平流動方向

中性氣體還是腐蝕性氣體？ AERZEN 針對二者都提供了適用的解決方案，並且結構尺寸也非常合理！

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用於工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前級泵在大氣壓力條件下開始運作。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風機，然後泵送流程啟動。 根據應用的不同，可以使用液環泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓風機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器並使用專用參數集時，前級泵也可以在大氣壓力條件下運作。

應用

• 半導體產業
• 微電子工業
• 平面螢幕製造
• 雷射技術
• 太陽能技術
• 氦檢漏設備
• 化學工藝技術
• 箔紙和玻璃噴漆
• 熔爐製造
• 氫的提取

*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空鼓風機時，必須配備額外的前級泵（多級系統）。