密闭式电机鼓风机

适用于腐蚀性气体的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共可选 14 种结构尺寸，适用的理论进气流量范围从 110 m³/h 到 15,340 m³/h，适用的压力范围在 10^-5 mbar 绝对压力以内。 产品优势一览：
• 通过 ATEX 0 区认证（内部）
• 4 种不同电机变体，实现最佳选择
• 机械负载较高（高达 150 mbar），因此缩短了泵送时间
• 仅消耗极少水、氮和油
• 适用于净室环境应用
• 借助变频器实现较大的控制范围（从 1.450 到 7.400 rpm，或从 1.240 到 2.900 rpm）
• 可选择纵向或水平输送方向

适用于中性气体的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可选 9 种结构尺寸，在 10^-5 mbar 的绝对真空压力条件下，适用的理论进气流量范围从 406 m³/h 到 15,570 m³/h。 产品优势一览：
• 4 种不同电机变体，实现最佳选择
• 机械强度较高（HM 系列高达 230 mbar），因而大幅缩短泵送时间
• 耗水量、耗氮量低
• 适用于净室环境应用
• 借助变频器实现较大的控制范围，各项参数针对 AERZEN 密闭式电机鼓风机进行过调整，卓有成效
• 可选择纵向或水平流动方向

中性气体还是腐蚀性气体？ AERZEN 针对二者都提供了适用的解决方案，并且结构尺寸也非常合理！

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 系列）和腐蚀性（CM 系列）气体，专用于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使用*。 
此前级泵在大气压力条件下开始运行。 通常在大约 50 至 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机，然后泵送流程启动。 根据应用的不同，可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵。 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时，前级泵也可以在大气压力条件下运行。

应用领域

• 半导体行业
• 微电子工业
• 平面屏幕制造
• 激光技术
• 太阳能技术
• 氦检漏装置
• 化学工艺技术
• 箔纸和玻璃喷漆
• 熔炉制造
• 氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时，必须配备额外的前级泵（多级系统）。