Герметичные воздуходувки

Версия CM для агрессивных газов:

• Воздуходувки AERZEN серии CM 14 типоразмеров покрывают диапазон теоретического объема всасываемого потока от 110 м³/ч до 15'340 м³/ч и диапазон давления до 10^-5 мбар абс. Обзор преимуществ:
• Сертификация ATEX для зоны 0 (внутренняя)
• Возможность выбора оптимального агрегата благодаря 4 разным вариантам двигателя
• Высокая механическая нагрузочная способность (до 150 мбар) с сокращением времени откачки
• Низкое потребление воды, азота, масла
• Подходят для применения в условиях чистого помещения
• Широкий диапазон регулирования от 1450 до 7400 об/мин или от 1240 до 2900 об/мин благодаря преобразователю частоты
• Возможность выбора вертикального или горизонтального направления перекачки

Версия HM для инертных газов:

• Воздуходувки AERZEN серии HM 9 типоразмеров покрывают диапазон теоретического объема всасываемого потока от 406 м³/ч до 15'570 м³/ч и диапазон давления до 10^-5 мбар абс. Обзор преимуществ:
• Возможность выбора оптимального агрегата благодаря 4 вариантам двигателя
• Высокая механическая нагрузочная способность (до 230 мбар для серии HM) со значительным сокращением времени откачки
• Низкое потребление воды и азота
• Подходят для применения в условиях чистого помещения
• Широкий диапазон регулирования благодаря преобразователю частоты, настроенному для герметичных воздуходувок AERZEN
• Возможность выбора вертикального или горизонтального направления потока

Инертные или агрессивные газы? AERZEN предлагает решения для обоих вариантов с возможностью выбора требуемого типоразмера.

Воздуходувки AERZEN с герметичным приводом предназначены для перекачки инертных (версия HM) и агрессивных (версия CM) газов. Они широко используются в промышленной технике высокого вакуума. Герметичные воздуходувки всегда используются вместе с насосом предварительного разрежения*. 
Этот насос предварительного разрежения начинает работать при атмосферном давлении. Герметичная воздуходувка обычно начинает откачку при давлении около 50–200 мбар. В зависимости от применения в качестве насоса предварительного разрежения могут использоваться жидкостные кольцевые насосы, ротационные вакуумные насосы, винтовые вакуумные насосы, воздуходувки. При оснащении преобразователем частоты AERZEN со специальными установленными параметрами возможна эксплуатация с запуском насоса предварительного разрежения при атмосферном давлении.

Области применения

• Полупроводниковая промышленность
• Микроэлектроника
• Производство плоских экранов
• Лазерное оборудование
• Оборудование для солнечной энергетики
• Системы обнаружения утечек гелия
• Химические технологии и технологии производства
• Нанесение пленок и стекловидных покрытий
• Производство плавильных печей
• Извлечение водорода

*При использовании вакуумной воздуходувки AERZEN с герметичным приводом необходим дополнительный насос предварительного разрежения (многоступенчатая система).