Two people on stage

Canned motor blowers

Soplantes de desplazamiento positivo

AERZEN canned motor vacuum blowers are a type of positive displacement blower that comes with a hermetically (HM) sealed drive ideal for the conveyance of aggressive and neutral gases. These vacuum systems are useful in industrial high vacuum technology due to their high power, reliability, and efficiencies.

These vacuum pumps have O-ring seals at the casing flanges for enhanced vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil, which can be PFPE oil or mineral oil, is supplied by splash lubrication.

Much like our high vacuum blowers, these vacuum pumps are also fitted with a special rectangular ring-labyrinth-seal form between the bearing and conveying chambers as well as a neutral chamber with condensate channels that you can purge with seal gas for enhanced sealing effect. The hermetically sealed drive surface also ensures the perfect sealing of the drive shaft, eliminating the need for a shaft passage to the atmosphere. This makes it possible to achieve higher rotation speeds.

Serie CM para gases agresivos:

  • La serie CM de AERZEN, con un total de 14 tamaños, abarca unos caudales de succión teóricos de 110 m³/h a 15 340 m³/h y unos intervalos de presión de hasta 10^-5 mbar abs. Resumen de ventajas:
  • Certificación ATEX para la zona 0 (interna)
  • Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos diferentes de motor
  • Alta carga mecánica (hasta 150 mbar) y, por tanto, disminución de los períodos de bombeo de vacío
  • Bajo consumo de agua, nitrógeno y aceite
  • Adecuado para aplicaciones en entornos de salas blancas
  • Amplio margen de control mediante variador de frecuencia de 1450 a 7400 o de 1240 a 2900 rpm
  • Posición de transporte en vertical y horizontal

Serie HM para gases neutros:

  • Con la serie HM, disponible en 9 tamaños, AERZEN también abarca unos caudales de succión teóricos de 406 m³/h a 15 570 m³/h y un vacío de hasta 10^-5 mbar abs. Resumen de ventajas:
  • Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos de motor
  • Alta resistencia mecánica (hasta 230 mbar para la serie HM) y, por consiguiente, reducción notable de tiempos de bombeo de vacío
  • Bajo consumo de agua y nitrógeno
  • Adecuados para aplicaciones en entornos de sala blanca.
  • Amplio margen de control mediante variador de frecuencia con parámetros probados y adaptados a las soplantes de motor encapsulado de AERZEN
  • Dirección del caudal tanto vertical como horizontal
Tipo de construcción
Soplantes de desplazamiento positivo
Caudal volumétrico
406 a 15.570 m3/h
Medio
aire , gases neutros , toxic
Transporte
exento de aceite
Final vacuum
10^-5 mbar de presión manométrica

The reason why manufacturing processes are optimised by a high delta p.

AERZEN Vacuum pumps with HM drive significantly reduce pump down time, which leads to an increase of the output ratio in production. This is a big step towards process optimisation.

Design and construction

AERZEN Vacuum pumps with HM drive are provided with O-ring seals at the casing flanges. Further important advantages of the blower stage are vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil is supplied by splash lubrication. Mineral oil can be used as a lubricant, as well as the PFPE oil, generally used in semiconductor technology. This vacuum pumps are equipped with a special rectangular ring-labyrinth-seal between the conveying chamber and the bearing chamber. Additionally, an amply dimensioned neutral chamber with condensate channels is installed. Optionally, the neutral chamber can be purged with seal gas, in order to achieve an increased sealing effect. The hermetically sealed drive ensures the sealing of the drive shaft. A shaft passage to atmosphere can therefore be omitted, making it technically possible to achieve significantly higher rotation speeds.

¿Gases neutros o agresivos? AERZEN le ofrece soluciones para ambos y el tamaño adecuado.

Las soplantes de AERZEN de motor encapsulado están diseñadas para transportar gases neutros (modelos HM) y agresivos (modelos CM) y se emplean sobre todo en la tecnología de alto vacío industrial. Las soplantes de motor encapsulado operan siempre combinadas con una prebomba*. 
Esta prebomba comienza a funcionar a presión atmosférica. La soplante de motor encapsulado se conecta normalmente a una presión de unos 50 a 200 mbar y empieza el proceso de bombeo de vacío. En función de la aplicación, como prebombas se emplean bombas de anillo líquido, bombas de vacío rotatorias de paletas, bombas de vacío helicoidales o soplantes. Cuando se suministran con variadores de frecuencia de AERZEN y conjuntos de parámetros especiales, también se pueden operar haciendo que la prebomba comience a funcionar a presión atmosférica.

Aplicaciones

  • Industria de semiconductores
  • Microelectrónica
  • Fabricación de pantallas planas
  • Tecnología láser
  • Tecnología solar
  • Equipos de detección de fugas de helio
  • Industria de procesos químicos
  • Recubrimiento de láminas y vidrio
  • Construcción de hornos de fusión
  • Evacuación de hidrógeno

*Se necesita siempre una prebomba adicional (sistema multifase) si se usa una soplante de vacío de AERZEN con motor encapsulado.

Accesorios y soluciones