Two people on stage

Blæsere med indbygget motor

Kapselblæsere

Kapselblæser til industriel højvakuumteknologi.

AERZEN blæsere med indbygget drev er designet til transport af neutrale (HM design) og aggressive (CM design) gasser og anvendes inden for industriel højvakuumteknik. Denne serie er karakteriseret ved imponerende effektivitetstrin og høj pålidelighed.

CM version til aggressive gasser:

  • AERZEN CM serien, med i alt 14 størrelser, dækker teoretiske volumenflow for indsugning fra 110 m³/t til 15.340 m³/t og trykområder op til 10^-5 mbar abs. Kort overblik over fordelene:
  • ATEX-certificering til zone 0 (intern)
  • Optimale valgmuligheder med 4 forskellige motorvarianter
  • Høj mekanisk belastningsevne (op til 150 mbar) og derfor, færre udpumpningsperioder
  • Kun lavt forbrug af vand, nitrogen og olie
  • Egnet til anvendelse under rene rumbetingelser
  • Stort reguleringsområde vha. frekvensomformer fra hhv. 1.450 til 7.400 o/m og 1.240 til 2.900 o/m
  • Mulighed for vertikal og horisontal transportretning

CM version til neutrale gasser:

  • Med 9 størrelser af typen HM dækker AERZEN også det teoretiske volumenflow for indsugning fra 406 m³/t til 15.570 m³/t op til et vakuum på 10^-5 mbar abs. Kort overblik over fordelene:
  • Optimale valgmuligheder med 4 motorvarianter
  • Høj mekanisk styrke (op til 230 mbar ved HM) og heraf følgende væsentlig reduktion af udpumpningstider
  • Lavt vand-, nitrogenforbrug
  • Egnet til anvendelse under rene rumbetingelser
  • Stort reguleringsområde vha. frekvensomformer med afprøvede parametre finjusteret til Aerzen blæsere med indbygget motor
  • Vertikal og horisontal flowretning mulig
Type of technology
Kapselblæsere
Volume flow
406 to 15,570 m3/h
Medium
luft , neutrale gasser , toxic
Conveying
oil-free
Final vacuum
10^-5 mbar

Årsagen til at produktionsprocesser optimeres af et højt deltatryk.

AERZEN blæsere med indbygget motor reducerer udpumpningstiden markant, hvilket medfører en stigning i produktionshastigheden. Det er et stort skridt mod procesoptimering.

Design og konstruktion

AERZEN vakuumblæsere er forsynede med O-ringstætninger ved husets flanger. Yderligere vigtige fordele ved blæsertrinnet er vakuumtætheden og luftkølingen. Smøreolie tilføres vha. oliebadssmøring. Der kan anvendes mineralolie som smøremiddel samt PFPE-olie, der normalt anvendes inden for halvlederteknologi. Blæsere med indbygget motor er udstyret med en speciel rektangulær ringlabyrinttætning mellem transportkammeret og lejekammeret. Desuden installeres et tilstrækkeligt dimensioneret neutralt kammer med kondensatkanaler. Desuden kan det neutrale kammer renses med tætningsgas for at opnå en øget tætningseffekt. Den integrerede kapslede motor sikrer tætningen af drivakslen. En akselgang til atmosfære kan derfor undlades, hvilket gør det teknisk muligt at opnå markant højere rotationshastigheder.

Neutrale eller aggressive gasser? Aerzen tilbyder løsninger til begge dele – samt den passende størrelse!

AERZEN blæsere med indbygget drev er designet til transport af neutrale (HM version) og aggressive (CM version) gasser og anvendes især i den industrielle højvakuumteknik. Blæsere med indbygget motor arbejder altid i kombination med en reservepumpe*. 
Denne reservepumpe går i gang ved atmosfærisk tryk. Blæseren med indbygget motor tilsluttes typisk ved cirka 50 til 200 mbar og udpumpningsprocessen begynder. Afhængig af applikationen anvendes væskeringspumper, lamel-vakuumpumper, skruevakuumpumper eller blæsere som reservepumpe. Ved levering med AERZEN frekvensomformere og specielle parametersæt kan drift med reservepumpen startende ved atmosfærisk tryk også lade sig gøre.

Applikationer

  • Halvlederindustri
  • Mikroelektronik
  • Produktion af fladskærme
  • Laserteknologi
  • Solarteknologi
  • Heliumlækagevisningsenheder
  • Kemisk procesteknik
  • Folie- og spejlbelægning
  • Produktion af smelteovne
  • Hydrogenudpumpning

*En ekstra reservepumpe (flertrinssystem) er altid nødvendig, når der anvendes en AERZEN vakuumblæser med indbygget drev.

Accessories & solutions