Tokozott motorfúvók

Térfogat kiszorításos fúvók

Térfogat kiszorításos fúvó ipari „high” vákuum-technológiához.

Az AERZEN tokozott motoros fúvói semleges (HM-kivitel) és agresszív (CM-kivitel) gázok szállítására, valamint ipari „high”-vákuumtechnológiában használatosak. Ezt a sorozatot nagy hatékonyság, és kiemelt megbízhatóság jellemzi.

CM változat agresszív gázokhoz:

Az AERZEN CM sorozat összesen 14 méretben, elméleti bemeneti térfogatáram 110 m3/h - 15 340 m3/h között, nyomás 10^-5 mbar abs. értékig. Az azonnal látható előnyök:
ATEX-tanúsítvány a 0. (belső) zónára
Optimális választási lehetőség 4 motorváltozattal
Nagy mechanikai terhelés (akár 150 mbar-ig), ezért csökken a szivattyúzási időket
Csak kevés vizet, nitrogént és olajat fogyaszt
Tiszta helyiségben is üzemeltethető
Frekvenciaváltóval vezérelt fordulatszám-tartomány: 1450 - 7 400/perc, illetve 1240 - 2900.900/perc között
Függőleges és vízszintes szállítási irány lehetséges

HM változat semleges gázokra:

Az AERZEN HM sorozat 9 méretben, elméleti bemeneti térfogatáramok 406 m3/h - 15 570 m3/h között, és 10^-5 mbar abs. vákuum értékig. Az azonnal látható előnyök:
Optimális választási lehetőségek 4 motorváltozattal
Nagy mechanikai erő (akár 230 mbar-ig a HM esetében), ezért jelentősen csökkenti a szivattyúzási időket
Kevés vizet és nitrogént fogyaszt
Tiszta helyiségben is üzemeltethető
Frekvenciaváltóval vezérelt nagy szabályzási tartomány, igazolt paraméterekkel, amelyek az AERZEN tokozott motoros fúvóira vannak hangolva
Függőleges és vízszintes áramlási irány lehetséges

Konstrukció típusa

Térfogat kiszorításos fúvók

Térfogatáram

406 meddig 15.570 m³/h

Közeg

levegő , Semleges gázok , toxic

Szállítás

olajmentes

Final vacuum

10^-5 mbar mért nyomás

Annak oka, amiért a gyártási folyamatokat magas delta p optimalizálja.

Az AERZEN tokozott motoros fúvói jelentősen csökkentik a leszívási időt, ami a termelés kibocsátási arányának növekedéséhez vezet. Ez egy nagy lépés a folyamat-optimalizálás felé.

Tervezés és szerkezeti kialakítás

Az AERZEN vákuumfúvók O-gyűrűkkel vannak szerelve a ház peremeinél. A fúvófokozatok további fontos előnyei a vákuumtömörség és léghűtés. A kenés szóróolajzással történik. A kenőolaj lehet ásványolaj vagy PFPE olaj, amelyet általában a félvezető-technológiában használnak. A tokozott motoros fúvók a szállító tér és a csapágyház közötti speciális, négyszög keresztmetszetű labirint gyűrűstömítéssel készülnek. Továbbá egy túlméretezett ún. semleges kamrát alakítottak ki kondenzátum elvezető csatornákkal. Opcióként a semleges (neutral) tér a minél jobb tömítő hatás érdekében gázzal tölthető fel. Az integrált tokozott motorlehetővé teszi a meghajtó tengely tömítését. Ezzel elkerülhető, hogy a tengely érintkezzen a külső légtérrel, ami technikailag lehetővé teszi a motor nagyobb fordulatszámát.

Semleges vagy agresszív gázok? Az AERZEN megoldásokat kínál mindkettőre, és a megfelelő méretre is!

Az AERZEN tokozott motoros fúvóit semleges (HM) és agresszív (CM változat) gázok szállítására terveztük, és főként az ipari erősvákuum-technológiában használatosak. A tokozott motoros fúvókat mindig elővákuum-szivattyúval* együtt alkalmazzák.
Az elővákuum-szivattyú légköri nyomáson kezd működni. A tokozott motoros fúvó jellemzően kb. 50 - 200 mbar nyomáson kezd működni, ahol a szivattyúzási folyamat elindul. Az alkalmazástól függően elővákuum-szivattyúként folyadékgyűrűs szivattyút, csúszólapátos vákuumszivattyút, csavar vákuumszivattyút vagy fúvót lehet használni. Ha a tokozott motoros fúvót AERZEN frekvenciaváltóval és speciális paraméterkészlettel szállítjuk, akkor az elővákuum-szivattyúval együtt, légköri nyomáson is kezdhet működni.

Alkalmazások

Félvezetőipar
Mikroelektronika
Lapos képernyők gyártása
Lézertechnológia
Szolártechnológia
Héliumszivárgást detektáló egységek
Vegyi folyamattechnológia
Fólia és üvegbevonatok
Olvasztókemencék építése
Hidrogén kivonása

*Ha AERZEN tokozott motoros vákuumfúvót használ, azt mindig kiegészítő elővákuum-szivattyúval együtt (többfokozatú rendszer) kell alkalmaznia.

Vákuumtechnológia

Tartozékok & megoldások

Állapotfelügyelet

Speciális motorok

Speciális olajok