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Canned motor blowers

Drehkolbengebläse

AERZEN canned motor vacuum blowers are a type of positive displacement blower that comes with a hermetically (HM) sealed drive ideal for the conveyance of aggressive and neutral gases. These vacuum systems are useful in industrial high vacuum technology due to their high power, reliability, and efficiencies.

These vacuum pumps have O-ring seals at the casing flanges for enhanced vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil, which can be PFPE oil or mineral oil, is supplied by splash lubrication.

Much like our high vacuum blowers, these vacuum pumps are also fitted with a special rectangular ring-labyrinth-seal form between the bearing and conveying chambers as well as a neutral chamber with condensate channels that you can purge with seal gas for enhanced sealing effect. The hermetically sealed drive surface also ensures the perfect sealing of the drive shaft, eliminating the need for a shaft passage to the atmosphere. This makes it possible to achieve higher rotation speeds.

Ausführung HM für neutrale und aggressive Gase:

Mit 10 Baugrößen des Typs HM deckt AERZEN den theoretischen Nennsaugvolumenstrom von 406 m³/h bis 15.570 m³/h ab. Die besonderen Vorteile:

  • Optimale Auswahlmöglichkeiten durch 4 Motorvarianten
  • Hohe mechanische Belastbarkeit (bis 230 mbar bei HM) und damit erhebliche Verringerung von Abpumpzeiten
  • Geringe Wasser-, Stickstoffverbräuche
  • Geeignet für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
  • Großer Regelbereich mittels Frequenzumrichter mit bewährten und auf die Aerzener Vakuumgebläse abgestimmten Parametersätzen
  • Vertikale und horizontale Förderrichtung möglich
Bauart
Drehkolbengebläse
Volumenstrom
406 bis 15.570 m3/h
Fördermedium
Luft , Neutrale Gase , toxische Gase
Förderung
öl-frei
Endvakuum
10^-5 mbar

The reason why manufacturing processes are optimised by a high delta p.

AERZEN Vacuum pumps with HM drive significantly reduce pump down time, which leads to an increase of the output ratio in production. This is a big step towards process optimisation.

Design and construction

AERZEN Vacuum pumps with HM drive are provided with O-ring seals at the casing flanges. Further important advantages of the blower stage are vacuum tightness and air cooling. Lubrication oil is supplied by splash lubrication. Mineral oil can be used as a lubricant, as well as the PFPE oil, generally used in semiconductor technology. This vacuum pumps are equipped with a special rectangular ring-labyrinth-seal between the conveying chamber and the bearing chamber. Additionally, an amply dimensioned neutral chamber with condensate channels is installed. Optionally, the neutral chamber can be purged with seal gas, in order to achieve an increased sealing effect. The hermetically sealed drive ensures the sealing of the drive shaft. A shaft passage to atmosphere can therefore be omitted, making it technically possible to achieve significantly higher rotation speeds.

Neutrale oder agressive Gase? Aerzen bietet für beides eine Lösung - und dazu noch die passende Größe.

Die Aerzen Vakuumgebläse mit hermetisch dichtem Antrieb (HM) sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Vakuumgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*.

Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre und klassisch wird das Vakuumgebläse bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen oder auch Schraubenvakuumpumpen zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie
  • Mikroelektronik
  • Herstellung von Flachbildschirmen
  • Lasertechnologie
  • Solartechnik
  • Helium-Lecksuchanlagen
  • Chemie- und Verfahrenstechnik
  • Folien- und Glasbeschichtung
  • Schmelzofenbau
  • Evakuierung von Wasserstoff

*Bei Einsatz eines AERZEN Vakuumgebläses mit HM-Antrieb ist immer eine zusätzliche Vorpumpe (Mehrstufensystem) erforderlich.

Zubehör & Lösungen