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Soffiatori Canned Motor

Soffiatore a lobi

Soffiatore a lobi per alto vuoto.

I soffiatori AERZEN con canned motor sono progettati per il trasporto di gas neutri (versione HM) e aggressivi (versione CM), e vengono utilizzati nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. Questa serie è caratterizzata da un elevato livello di affidabilità ed efficienza.

Enjoy the following characteristics when you choose one of our canned motor vacuum blowers:

  • Excellent variety with four motor variants
  • Highly flexible vacuum components with vertical and horizontal direction of flow
  • High mechanical strength pumps (up to 230 mbar in case of HM)
  • Large control range
  • Low nitrogen and water consumption
  • Reduced pumping down times
  • Suitable for clean room conditions

Use these vacuum pumps in the following industries:

  • Chemical Process Technology
  • Electronics/Semiconductor Instrument Manufacture
  • Flat Screen Production
  • Thin Film Foil and Glass Coating
  • Helium Leak Detection
  • Hydrogen Evacuation
  • Laser Systems Technology
  • Melting Furnaces Manufacture
  • Micro-Electronics
  • Solar Technology
Tecnologia
Soffiatore a lobi
Portata
406 - 15.570 m3/h
Mezzo aspirato
Aria , gas neutri , toxic
Funzionamento
oil-free
Final vacuum
10^-5 mbar pressione relativa

La ragione per cui i processi di produzione vengono ottimizzati da un elevato delta P.

I soffiatori AERZEN con canned motor riducono notevolmente i tempi di svuotamento, ottenendo così un aumento della capacità produttiva. Un grande passo verso l'ottimizzazione dei processi.

Progettazione e fabbricazione

I soffiatori per alto vuoto AERZEN sono provvisti di guarnizioni o-ring in corrispondenza delle flange del cilindro. Ulteriori importanti vantaggi dello stadio sono la perfetta tenuta in vuoto ed il raffreddamento ad aria. La lubrificazione è del tipo a sbattimento. Come lubrificanti è possibile utilizzare olio sintetico e olio PFPE, normalmente utilizzato nella tecnologia dei semiconduttori. I soffiatori con canned motor sono provvisti di una tenuta a labirinto con uno speciale anello tra la camera di compressione e le camere di lubrificazione. Inoltre, è installata una camera neutra con canali di dreno condensazione. Facoltativamente, per ottenere un aumento della tenuta, è possibile flussare la camera neutra con gas di tenuta. Il canned motor integrato assicura la tenuta dell’albero. In questo modo viene eliminato il contatto con l’atmosfera dell'albero, ed è tecnicamente possibile un aumento significativo del numero di giri.

Neutral or aggressive gases? Aerzen offers solutions for both!

Aerzen vacuum blowers with hermetically sealed drive (HM) are designed for conveying neutral and aggressive gases and find special application in industrial high vacuum technology. Vacuum blowers always work in combination with a backing pump*.

This backing pump starts operating at atmosphere. The vacuum pumps is connected typically at approx. 50 to 200 mbar and the pump down process begins. Depending on the application, liquid ring pumps, sliding vane rotary vacuum pumps or screw vacuum pumps are used as the backing pump. When supplied with AERZEN frequency converters and special parameter sets, operation with the backing pump starting from atmospheric pressure is also possible.

Applications

  • Semiconductor industry
  • Micro-electronics
  • Production of flat screens
  • Laser technology
  • Solar technology
  • Helium leak indicating units
  • Chemical process technology
  • Foil and glass coating
  • Manufacture of melting furnaces
  • Evacuation of hydrogen

*An additional backing pump (HM drive) is always required when using an AERZEN vacuum blower with canned drive.

Accessori & soluzioni